三輪車檢測線二維工作台是掃描幹涉場曝光系統中的機械分度與掃描運動工作台。掃描工作台此工作台的正交性對掃描光栅的刻線均勻性、刻線間的平行等指标是很重要的。現世界對于檢測正交性的方法有很多,主要分為光學檢測和機械檢測。

　　三輪車檢測線光學檢測中的主要器件為五棱鏡、自準直儀和反射鏡;機械檢測主要器件為多齒分度盤、平晶和微位移檢測設備(如電容測微儀、電感儀等)。文中介紹機械檢測工作台正交性的方法。

　　而微位移檢測設備選用非接觸式電容測微儀。由于它具有精度和分辨率高、對環境要求低、穩定性好、适用材質和對基準平晶有保護作用等多種優點[7-8],所以選擇在此次檢測中應用。

　　1.升降機構;2.刻度盤;3.上齒盤;4.工作台面;5.固定指标線;6.下齒盤多齒分度盤1檢測方法已知X,Y兩向導軌直線度已經達到要求的條件下,将電容測微儀固定在工作台表面上,在工作台外側将基準平晶放置并固定在多齒分度盤工作台面上。